优质p型氧化锌薄膜在中国制备完成
时间:2018-12-08 11:10:58浏览量:
平板显示技术是信息时代对终端显示的基本要求,目前主要的平板显示技术有液晶、等离子体、荧光管和发光二极管。发光二极管作为平板显示屏具有驱动电压低,可与集成电路匹配,使用安全,可多色显示,寿命长和响应快等优点,是一种理想的平板显示器件,在科学仪器、交通信号、便携式微机、航空航天和军事等领域具有广阔的应用前景。目前单色显示的红色和绿色LED显示器件已有商品问世,但彩色显示器至今未商品化,其主要原因是蓝色电致发光的亮度或色纯度达不到实用水平,无法利用三基色实现彩色显示。氧化锌是一种新型的Ⅱ-Ⅵ族直接带隙宽禁带化合物半导体材料,具有优异的光学和电学特性,具备了发射蓝光或近紫外光的优越条件,有望开发出紫外、绿光、蓝光等多种发光器件。实现氧化锌基光电器件的关键技术是制备出优质的p型氧化锌薄膜。本征氧化锌是一种n型半导体,必须通过受主掺杂才能实现p型转变。但是由于氧化锌中存在较多本征施主缺陷,对受主掺杂产生高度自补偿作用,并且受主杂质固溶度很低,难以实现p型转变,导致无法制得半导体器件的核心——氧化锌p-n结结构,极大地限制了氧化锌基光电器件的开发应用。目前,p型氧化锌的研究已成为国际上的研究热点。
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