氧化锌薄膜的晶格结构
时间：2018-12-08 11:01:36浏览量：
优质的氧化锌薄膜具有C轴择优取向生长的众多晶粒，每个晶粒都是生长良好的六角形纤锌矿结构。按照一般的晶体学模型，氧化锌晶体是由氧的六角密堆积和锌的六角密堆积反向嵌套而成的，晶格常数a=0.325nm，c=0.521nm，配位数为4:4，每一个锌原子都位于4个相邻的氧原子所形成的四面体间隙中，但只占其中半数的氧四面体间隙，氧原子的排列情况与锌原子相同。单位晶格中含有两个分子，体积v=0.047615nm，。因而这种结构比较开放，间隙原子的形成焙比较低，半径较小的组成原子容易变成间隙原子，如氧化锌中Zn的浓度比较高。化学计量比的氧化锌为宽带隙半导体，禁带宽度约3.3eV，本征氧化锌薄膜的电阻率高于106 Ω·cm改变生长、掺杂或退火条件，可形成简并半导体，导电性能大幅度提高，电阻率可降低到10-4 Ω·cm数量级。
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